衬底表面对成核的影响

摘要

研究了汽相沉积过程中的衬底表面结构的成核热力学，计算了平面与凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生。指出通过人工微结构的设计。可以实现在凹结构内生长出点状结构，即在非平面上生长出点状结构阵列。