二元位相型光瞳滤波器的容错性能分析

摘要

对分区位相型大焦深超分辨光瞳滤波器的容错性能进行了分析研究。给不同区域以不同的位相误差,对焦点区域的光强分布特性进行了分析研究,研究结果表明,位相误差的大小对横向超分辨性能的影响比对焦深的影响要小的多。在10%以内的误差对焦平面上的光斑压缩比和斯特尔比的影响都非常小。3.7%的误差可以仍然维持较好的焦深扩展,但当误差进一步增大,焦深扩展的情况逐渐遭到破坏,不能再看作是良好的焦深扩展。