三区位相型光瞳滤波器的设计与超分辨性能分析

摘要

光学系统中加入光瞳滤波器可以实现超分辨。现有的光瞳滤波器有纯振幅型、纯位相型和复振幅型三种。振幅型滤波器虽然制作简单，但实现超分辨时有较大的能量损失;相比之下，位相型光瞳滤波器易于实现较高的轴向超分辨，且能量损失较低;复振幅型滤波器可实现三维超分辨，但制作更为复杂。本文设计了一类三区纯位相型光瞳滤波器的模型，并通过对特征参数的分析得到了这类滤波器的性能随未知参量(分区半径a、b)的变化情况，对实际应用中此类滤波器的选择有指导意义。