试样几何参数对微波烧结腔电场分布的影响

摘要

采用HFSS三维仿真模拟软件对加载92%的氧化铝的微波烧结腔进行模拟。通过控制变量法分别改变试样的半径和高度,对试样进行数值化模拟。模拟结果表明,高度在30mm左右时样品内部电场分布比较均匀,为适合烧结的样品尺寸。随着样品高度的增加场的均匀性比逐渐下降。微波电磁场在小尺寸样品内分布比较均匀,场强梯度很小。高度超过60mm后,场的均匀性比有所提高,场的稳定性比略有起伏,但超过一定高度后,样品电场不再均匀,超出均匀区域范围。由此确定了最佳的样品烧结尺寸为高度77mm,半径30mm。