磁控溅射法制备PET基纳米TiO_2膜的XPS表征

摘要

利用磁控反应溅射法制备了PET基TiO2薄膜,并用XPS进行了组成结构表征。发现溅射生成的薄膜上存在着多种价态的Ti,NO∶NTi偏离化学计量比2,即在溅射过程中还能生成Ti2O3及TiO等组分。研究了不同工作压力、不同溅射气体对溅射生成的PET基TiOx膜的各组分百分含量以及氧钛比的影响,并分析了产生这种结果的可能原因和影响因素。