热蚀刻技术在复相陶瓷显微结构研究中的应用

摘要

热蚀刻技术是制备陶瓷材料ＳＥＭ样品的一种新方法，通过对ＴＺＰ系复相陶瓷和Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＣｎａｎｏ纳米复相陶瓷的系统实验，总结了最佳热蚀刻条件。结果表明：合适的热蚀刻条件可以清晰显示晶界和“内晶型”结构中晶内纳米相的分布，是一种方便实用的陶瓷材料ＳＥＭ样品的制备方法。