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侯保江; 安亚青; 水涌涛; 孙向春;
[1]北京航天长征飞行器研究所;
北京100076;
[2]中国运载火箭技术研究院;
砷化镓; 化学机械抛光; 抛光特性; 表面粗糙度;
机译:硅晶片抛光效果的提高助长巨型型振动辅助化学机械抛光
机译:化学机械抛光的理论模型及实验分析,浆料磨蚀深度和硅晶片表面形貌的影响
机译:通过整合抛光时间分析模型和特定倒力能源理论建立硅晶片化学机械抛光磨削深度的理论模型
机译:硅晶片化学机械抛光中磨料的特征研究
机译:硅晶片的化学机械抛光和研磨。
机译:超声化学机械抛光与超声研磨相结合的单晶碳化硅晶片材料去除及表面生成研究
机译:光辐射压力辅助铜层化学机械抛光的基本特性(<特刊>先进制造技术)
机译:在碳化硅晶片上同晶外生长单晶碳化硅膜的方法
机译:单晶硅晶片,单晶硅晶片,单晶硅太阳能电池以及制造单晶硅晶片的方法
机译:确定单晶硅晶片中的氧沉淀行为模型的方法,确定使用所述模型生产单晶硅晶片的过程的方法以及记录介质,该程序携带用于确定单晶硅晶片中的氧沉淀行为模型的程序
机译:单晶硅生产方法,单晶硅晶片生产方法,用于生产单晶硅的种子晶体,单晶硅硅锭和单晶硅晶片
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