沉积参数对ZnS体材料红外透过率的影响

摘要

采用低压化学气相沉积法系统研究了Ｈ２Ｓ／Ｚｎ流量比，沉积温度，沉积速率及衬底材料对ＺｎＳ体材料红外透过率的影响规律，在本实验研究的条件下认为采用低的Ｈ２Ｓ／Ｚｎ流量比及低的沉积速率，适宜的沉积温度可以提高ＺｎＳ的透过率。