基于全石英结构非本征型温度不敏感的光纤压力传感器

摘要

提出了一种基于全石英结构的非本征F-P光纤干涉压力传感器，该传感器具有很高的压力灵敏特性。压力灵敏度为5.18nm/KPa (0.75nm/psi)，分辨率为38Pa (0.005psi)。由于激光加工的过程中在光纤与石英毛细管之间保留了通风孔，所有该传感器具有极低的温度敏感特性，约0.011nm/℃，与此相应的压力测量误差是0.021KPa/℃(0.003psi/℃)。由于通风孔的存在，传感器的工作点也不会随着背景压力的变化而漂移。因此，该传感器适用于液位测量、环境监测以及其他恶劣环境的工业应用。