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白光多光束干涉细分法测量平面面形

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本文介绍了一种超精光学平面的检测方法-白光多光束干涉细分法.在扼要阐明原理的同时,给出了一套实用的测量装置,并对其细分误差进行了估算.

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来源
《海军医高专学报》 |1994年第4期|314-316|共3页
作者
陶海林;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类医用物理学;
关键词
多光束; 干涉; 测量; 平面面形;

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