晶体不均匀性的“魔镜”诊断方法

摘要

“魔镜”检测方法已被有效地应用于镜状表面缺陷的检测．在本文中，我们基于“局域波面畸变”概念，发展了晶体缺陷的“魔镜”检测原理，并提出了两种分别用于晶体表面及内部缺陷的无损检测方法．用这些方法，我们分别观测到硅外延片上的多种典型缺陷图样，以及ＬｉＮｂＯ３；Ｆｅ晶体中光伤点等缺陷．