基于前馈控制的压电单轴实时位移控制系统

摘要

为满足微细加工、超精加工等的实时性、精度要求,基于前馈复合控制,提出一种压电单轴精密位移的嵌入式实时控制系统。建立了压电致动器的阶跃响应模型、迟滞特性的Preisach及逆模型。采用Preisach逆模型作为前馈控制环节、比例积分控制作为反馈环节,设计前馈复合控制器。研制了基于S3C2410控制器的压电单轴实时位移控制系统。测试表明:阶跃响应稳态误差小于0.15μm,调节时间约1.2 ms,超调量约10%;正弦响应误差为-0.41～0.45μm,在±1.5%以内;该系统能满足多个领域的实时精确控制要求。