动态微位移量的自动干涉测量系统

摘要

该文介绍一种可进行动态微位移测量的自动干涉测试系统。它在接触式干涉仪的基础上，配置了光电探测、图像捕获器件及微机和干涉图处理软件包等，其动态测量范围为０～２０μｍ（可调），精度优于０．０２μｍ。文中介绍了硬件配置和干涉图的分析处理原理，并提供了对压电陶瓷堆特性曲线的精确测试实例。