冷等离子体中实验参数对气体温度的影响

摘要

本文探讨某些实验参数对辉光放电产生的冷等离子体中气体温度的影响及在一定的实验条件下气体温度随时间的延长而上升的变化规律，从而为调控冷等离子体中与材料表面改性有关的气体温度提供一定的实验依据。