溅射铁膜的结构和磁性能

摘要

简要回顾了磁头用薄膜材料的晚近发展。用射频溅射制备了软磁性纯铁膜并考察了溅射条件和真空退火对铁膜微结构和磁性能的影响。所有铁膜都是取向的。随着阳极电压ＶＡ的增大。晶格变形变量减小，矫顽力ＨＣ下降。