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GaAs/SiO2超晶格的制备和Raman光谱研究

         

摘要

我们采用射频磁控溅射方法在p-Si衬底上成功地制备出四周期的非晶GaAs/SiO2超晶格,并取得其高分辨率电镜像.以800℃快速退火方法使超晶格中非晶的GaAs层局部晶化.利用Raman散射谱研究了其结构变化.

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