圆柱形介质阻挡放电等离子体光谱诊断

摘要

在350～1150 nm范围内对开放空间Ar气介质阻挡放电等离子体的发射光谱进行测量,表明Ar发射谱线主要集中在680 nm～950 nm,且都为Ar原子谱线.采用发射光谱相对强度对比法,选取相距较近且有相同下能级的727.29 nm(2P2-1S4),738.40 nm(2P3-1S4) 和751.47 nm(2P5-1S4)三条光谱测量电子温度.通过对在Ar气和空气中放电谱线的对比和分析,得出发射光谱相对强度与电源功率的关系.最终得出若要便于工业应用和光谱测量,需要选择特定的气体流量和电源功率.