微机械谐振器的设计及实现

摘要

设计并制作了一个硅微机械双终端音叉谐振器,主要工作有:1.研究硅微机械双终端音叉式谐振器的结构与谐振频率的关系并设计了一个双终端音叉谐振器;2.对所设计的音叉谐振器的一端施加轴向力后,音叉谐振器的输出频率变化进行了分析,并用有限元分析软件进行了仿真;3 对制作的DETF进行测试,其性能基本符合设计要求.