背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用

摘要

以JSM-7900F型场发射扫描电子显微镜为例,讨论二次电子和背散射电子在形貌表征中的应用,利用该仪器配备的3种探头,通过优化实验条件,对具有纳米尺度的样品进行形貌观察,对比分析成像效果,并讨论各实验条件的影响因素.结果表明,利用背散射探测器结合电子束减速模式可对玻璃表面几纳米的颗粒成像,图像信噪比较高,成像效果优于高分辨模式即高位电子探头,拓展了背散射电子在高分辨成像中的应用.