纳米硅薄膜在场发射传感器件中纳米态结构潜力分析

摘要

纳米技术的主要内容其实是为揭示物质的潜在信息和结构潜力。所以，在研制纳米硅薄膜的基础上，把这种新型薄膜应用于场致电子发射传感器件中，是一次有益的尝试。