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ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究

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摘要

微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真,通过仿真得到的结果和数据,对器件的整体结构和尺寸进行优化.

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来源
《吉林建筑大学学报》 |2015年第2期|P.63-65|共3页
作者
刘航; 李洋;
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作者单位

吉林建筑大学电气与电子信息工程学院,长春130118;

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正文语种 CHI
中图分类一般性问题;
关键词
微热板; 电极; ANSYS; 温度分布;

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