ZrMgN纳米复合膜的性能研究

摘要

采用射频反应磁控溅射设备,制备了一系列不同Mg含量的ZrMgN复合膜.使用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪和摩擦磨损仪(UTM-2)研究Mg对ZrMgN复合膜的成分、微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响.研究表明:ZrMgN复合膜为面心立方结构,随着Mg含量的增加,ZrMgN复合膜的硬度先增大后减小;摩擦系数先减小后增大;磨损率则逐渐降低.Mg的加入提高了ZrN薄膜的高温抗氧化性能.