干涉显微镜在超精密测量中的应用

摘要

介绍了干涉显微镜测量原理、仪器结构、空间分辨率和测量范围,分析了测量误差产生的原因,通过实验表明:干涉显微镜能够比较真实地反映超光滑表面微观形貌特征。