現場で使いこなす非接触計測技術：超精密·微細加工における高精度画像計測技術の応用

摘要

最近では立体的な寸法測定が可能な三次元測定機の利点と，微細形状の寸法測定が可能な画像測定機の利点を1台で兼ね備えるため，画像測定機にタッチプローブを装着可能としたり，三次元測定機にビデオプローブを装着した複合マシンもラインナップしている。 近年ナノテクノロジーの発展とともに，マイクロマシンによる超精密加工技術，微細加工技術が高まるなか，XY各軸U{sub}1＝0.3+L/1,000μmと最高水準の精度を持った「ウルトラクイックビジョン」（図1）を開発·販売している。本文ではこの「ウルトラクイックビジョン」の特長を交え，精密金型計測への応用例を紹介する。