K（Ta,Nb）O3薄膜中钙钛矿相的形成机理研究

摘要

研究了工艺参数和衬底材料对Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３薄膜生长的影响，研究表明钙钛矿相由焦绿石中间相转变而成，热处理时低速升温同样可以获得纯钙钛矿相的Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３薄膜，分析了（１００）ＳｒＴｉＯ３，（１００）ＭｇＯ单晶衬底上钙钛矿相的形成机理，并解释了在硅单晶和石英玻璃衬底上纯钙钛矿结构的Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３薄膜不易形成的原因。