首页> 中文期刊>红外与毫米波学报 >AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

     

摘要

为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.

著录项

  • 来源
    《红外与毫米波学报》|2010年第6期|401-405|共5页
  • 作者单位

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光电子技术、激光技术;
  • 关键词

    扫描电容显微镜(SCM); 激光束诱导电流(LBIC); 光生载流子扩散; 保护环; InP/InGaAs;

  • 入库时间 2022-08-18 03:07:27

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号