质量管理中的多尺寸参数检测技术的研究

摘要

提出了多尺寸参数检测技术及多尺寸参数的相关分析方法，以及ＺＫ－５型多通道电感式质量管理仪的工作原理、硬件设计和仪器的实验结果。该仪器具有质量管理功能，测微仪的最后分辨力为０．１μｍ，测量范围为±４００μｍ，示值误差为±０．２μｍ。