Ti—Al—N系功能梯度薄膜抗热震机理的研究

摘要

研究了成分梯度对Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的抗热震性能的影响，研究结果表明：梯度薄膜的抗热震屐 于均质薄膜；随着梯度的增加、Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的抗热震性能大幅度提高；计算结果表明在Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的厚度方向，热膨胀、在体到表层是缓慢连续减小的。