准分子激光原位淀积YBa_2Cu_3O_（7－x）超导薄膜

摘要

利用ＺｅＣｌ准分子激光在（１００）Ｓｉ基片上原位淀积出ＺｒＯ＿２缓冲层和ＹＢａ＿２Ｃｕ＿３Ｏ＿（７－ｘ）高Ｔ＿ｃ超导薄膜，薄膜的零电阻温度为８２Ｋ．Ｘ射线衍射结果表明该超导薄膜具有很强的ｃ轴取向的正交结构。