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梁秀红; 鞠玉林; 任丙彦;
河北工业大学;
扩散硅; 压阻传感技术; 发展趋势; 压阻效应原理; 特点; 智能代传感器; 压阻传感器;
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机译:微机械压力传感器具有重叠的相邻外延单晶硅和多晶硅区域,从而能够以压阻方式测量压力引起的膜波动
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