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黎相孟; 祝锡晶; 魏慧芬; 崔学良; 李建素;
中北大学先进制造技术山西省重点实验室,山西太原 030051;
中北大学仪器与电子学院,山西太原 030051;
等离子体动力学; 干法刻蚀; 硅纳米锥阵列; 亚波长结构; 减反射;
机译:室温下入射角对Ar + sup>溅射诱导的硅纳米锥阵列形貌的影响
机译:硅纳米多孔柱阵列上生长的氮化镓的形貌控制:从锥线到纳米线
机译:胶体光刻技术控制硅锥阵列的形貌和润湿性
机译:通过使用纳米球光刻和NH 4 inf> OH / H 2 inf> O 2 inf>溶液的两步蚀刻制备尺寸可控的周期性硅纳米锥阵列
机译:首先原理研究尺寸和应变对硅和碳化硅纳米结构的电子性能的影响。
机译:硅量子点基发光器件的纳米图案化硅结构抗反射特性的仿真与实验研究
机译:具有多孔侧壁的硅纳米锥阵列的宽带抗反射特性通过ag催化蚀刻制造
机译:尺寸分布对Co / pd多层纳米结构阵列开关场分布的影响
机译:大面积硅锥阵列制造和基于锥的纳米结构改性
机译:通过去除束而制造具有增加的硅纳米结构和微结构的反射特性的太阳能电池的方法
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