溅射法制备的YSZ薄膜电性能

摘要

应用交流阻抗谱技术研究了用射频磁控溅射法在Ａｌ２Ｏ３ 基板上制备的ＹＳＺ薄膜电性能。结果表明，在清洁的基板上制备的ＹＳＺ薄膜经６００℃以上热处理后具有较高的电导率，完全可以作为固体电解质使用。