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冷等离子体固体表面改性的物理化学机理

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摘要

冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂.本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存在的问题.

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来源
《哈尔滨学院学报》|2002年第8期|27-28|共2页
作者
谭凯;
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作者单位

哈尔滨学院,物理与电子工程系,黑龙江,哈尔滨,150080;

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正文语种 chi
中图分类等离子体物理学;
关键词
冷等离子体; 表面改性;

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