用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计

摘要

针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统.采用高精确度称重传感器确保测量准确度,采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力,同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录.