正硅酸乙酯对杂化膜纳米力学性能的影响

摘要

分别采用溶胶-凝胶方法,以三种硅烷偶联剂GPMS、MPMS和VMS为前驱体,调节TEOS与硅烷偶联剂的比例,合成了三类典型的不同TEOS含量的倍半硅氧烷杂化膜.通过MTS Nano Indenter XP系统进行纳米压痕检测,讨论了不同TEOS含量对涂层的纳米力学性能的影响.由测试结果可知,TEOS影响杂化膜的硬度和模量,质量分数为20%TEOS的MPMS杂化膜显示了最佳的综合力学性能,硬度为0.51 GPa、模量为9.04GPa、脆性指数为0.056.