金属薄膜电阻率测量中界面势垒对电压的影响

摘要

在金属薄膜电阻率测量中,电压的准确测量非常重要.系统的研究了影响电压测量结果的各种误差因素,并分析了界面势垒、温差电势对测量结果的具体影响方式,推翻了认为界面势垒、温差电势非常小对测量结果没什么影响的观点.通过磁控溅射法制作了多个Au膜和Cu膜,利用四探针法对其进行了电学测量.实验结果很好地验证了理论分析.