SiGe合金氧化层中的纳米结构

摘要

在硅锗合金衬底上采用氧化等制膜方式生成零维和二维的纳米结构样品 ,用高精度椭偏仪 (HPE)、卢瑟福背散射谱仪 (RBS)和高分辨率扫描透射电子显微镜 (HR -STEM)测量样品的纳米结构 ,并采用美国威思康新州立大学开发的Rump模拟软件对卢瑟福背散射谱 (RBS)中的CHANNEL谱和RANDOM谱分别进行精细结构模拟 ,测量并计算出纳米氧化层与锗的纳米薄膜结构分布 ,并且反馈控制加工过程 ,优化硅锗半导体材料纳米结构样品的加工条件 .在硅锗合金的氧化层表面中首次发现纳米锗量子点组成的纳米盖帽薄膜 ( 2nm) 。