CCD在线测量小尺寸的误差分析与校正

摘要

ＣＣＤ作为一种新型的光电传感器件在动态测量方面有着广泛的发展前景，在ＣＣＤ小尺寸非接触式测量系统的原理及系统的组成的基础上，讨论了采用面阵ＣＣＤ作为光电转换器件在线测量小尺寸时，可能产生的误差的原因以及消除这些误差的方法。