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基于线阵CCD的尺寸测量研究及误差分析

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摘要

通过分析基于线阵CCD器件的一维尺寸测量原理,系统讨论了基于CCD器件各种一维尺寸的测量方案,同时分析了各种测量方案所产生的测量误差的计算方法.

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来源
《计量技术》 |2004年第8期|12-14|共3页
作者
余震; 文艺;
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作者单位

安徽建筑工业学院数理系,合肥,230022;

武汉重工铸锻有限责任公司质管处,武汉,430084;

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正文语种 chi
中图分类长度测量及其量仪;
关键词
线阵CCD 尺寸测量误差分析;

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