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SOI技术及其最新进展

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介绍了近年来实现三维集成电路中的关键技术——— ＳＯＩ技术的各类方法，重点讨论了各种ＳＯＩ技术的最新进展．

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来源
《广东工业大学学报》|1999年第3期|89-94|共6页
作者
罗南林; 吴福根;
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作者单位

广东农工商管理学院计算机系;

广东工业大学数理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN470.5;
关键词
单晶硅; SOI技术; 集成电路; 三维; 离子注入;
入库时间 2022-08-21 02:46:07

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