纳米晶Fe-Ti-N软磁薄膜的研究

孟卫民

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纳米晶Fe-Ti-N软磁薄膜的研究

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用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe Ti N合金薄膜 .研究发现 ,沉积态低Ti含量的薄膜是α Fe的多晶体 ,晶粒尺寸约 2 0nm ,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构 ,经适当热处理后 ,纳米晶α Fe从中晶化生成 ,晶粒尺寸约 10nm .和低Ti含量Fe Ti N薄膜相比 ,高Ti含量Fe Ti

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来源
《兰州文理学院学报：自然科学版》 |2002年第1期|36-39|共4页
作者
孟卫民;
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作者单位

兰州大学物理科学与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
软磁薄膜; 纳米晶; 射频反应溅射法; 交换耦合; 铁钛氮合金薄膜; 非晶结构; 软磁特性;

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