MHz频段颗粒型纳米晶T—M—O系软磁性薄膜及其应用

摘要

本文介绍高Ｂｓ高ρ颗粒型纳米晶Ｔ－Ｍ－Ｏ系软磁性薄膜的主要类型、制备方法、某此膜的特点和主要电磁性能；最后介绍这种膜的应用。