首页> 中文期刊> 《福州大学学报：自然科学版》 >力平衡式微加速度计系统特性研究

力平衡式微加速度计系统特性研究

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施.

著录项

来源
《福州大学学报：自然科学版》 |2008年第s1期|53-56|共4页
作者
张扬; 曲延滨;
展开▼
作者单位

哈尔滨工业大学(威海)信息科学与工程学院;

山东威海264209;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
力平衡; 微加速度计; 偏置电压极性;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种梳齿力平衡式微加速度计 [J] . 刘恒 ,何晓平 ,杜连明 . 仪表技术与传感器 . 2012,第006期
2. 预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响 [J] . 李疆 ,董景新 ,刘云峰 . 传感器与微系统 . 2004,第008期
3. 梳齿式微机械力平衡加速度计 [J] . 马欣龙 ,王永梁 . 中国惯性技术学报 . 2002,第003期
4. 静电力平衡式微型硅加速度计方案分析 [J] . 郭秀中 ,陈家斌 . 中国惯性技术学报 . 1995,第003期
5. 电磁力平衡式加速度计原理及检测方法研究 [J] . 周治良 ,张传军 ,王书义 . 电测与仪表 . 2010,第0Z2期
6. 力平衡式微加速度计系统特性研究 [C] . . 华东六省一市自动化学会第21届学术年会——福建省科协第八届学术年会卫星会议 . 2008
7. 支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究 [A] . 何江波 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号