溶胶-凝胶法在石英基片上制备氧化锌薄膜

摘要

氧化锌是一种宽禁带的半导体材料,它在太阳能电池、气体传感器等各种光电子器件中有广泛的应用前景。本文用溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,再甩膜在石英基片上,最后经微波加热而获得ZnO薄膜。分别用原子力显微镜、分光光度计和荧光谱仪研究不同厚度薄膜的表面形貌和光学性质。实验结果表明:制备薄膜随着薄膜厚度的增加,薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变;所有薄膜在可见光范围内的透射率都超过65%;样品发光特性良好。