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李元勋; 唐先忠; 胡文成;
电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;
光敏聚酰亚胺; 光敏性二胺; 羟醛缩合;
机译:通过控制光敏剂的光化学反应在光敏聚酰亚胺树脂中制备自写波导
机译:基于聚酰胺酸作为聚酰亚胺前体和重氮萘醌作为光敏化合物的具有高尺寸稳定性和低介电常数的正型光敏碱性可显影聚酰亚胺
机译:一种正型光敏碱性可显影的聚酰亚胺,具有高度的尺寸稳定性和低介电常数,基于聚(酰胺酸)作为聚酰亚胺前体,而重氮萘醌作为光敏化合物(第36卷,第2261页,
机译:非光敏聚酰亚胺将非光敏聚酰亚胺集成到现有的交叉光致抗蚀剂过程中
机译:自动光敏聚酰亚胺的气相沉积和图案化。
机译:含羧酸基聚酰亚胺的透明聚酰亚胺-二氧化硅复合膜的制备与表征
机译:基于可溶性含羟基聚酰亚胺的高附加值正型光敏聚酰亚胺的研究
机译:新型光敏聚酰亚胺抗蚀剂由可溶性聚酰亚胺和双(全氟苯基叠氮化物)作为交联剂组成
机译:光敏性聚酰亚胺组合物,可溶性聚酰亚胺树脂的制备方法和光敏性聚酰亚胺组合物的制备方法
机译:聚酰亚胺共聚物,使用聚酰亚胺共聚物制备聚酰亚胺共聚物,光敏树脂组合物,光敏树脂膜和光学装置的方法
机译:聚酰亚胺共聚物,制备聚酰亚胺共聚物的方法,利用相同的光敏树脂膜和光学装置的光敏树脂组合物
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