热氧化法制备透明超疏水ZnO薄膜

摘要

高透明性的无机超疏水薄膜材料具有广阔的应用前景，采用磁控溅射法制备出表面具有纳米结构的金属Zn前驱体薄膜，并利用在低气压5Pa，温度350℃热氧化方法对其采取了处理，获得了接触角为151°，可见光透过率达80％以上的超疏水ZnO薄膜。SEM表明薄膜由100nm短棒状的ZnO堆积而成，通过XRD，IR的测量与分析，进一步讨论了沉积条件及热氧化处理对超疏水透明ZnO薄膜形成机理。