高精度磁浮式定位平台控制问题研究

摘要

高精度定位平台是光刻机、纳米测量与加工、微装配等微观领域技术的核心部件。磁浮式定位平台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁浮技术,消除了两者间的摩擦、磨损等对运动精度造成的影响,提高了定位精度,成为近年来国内外精密定位技术研究的热点。简述国内外磁浮式定位平台的发展与研究现状,提出一种三点悬浮式的单运动部式的磁浮式定位平台,建立其悬浮方向上的单电磁铁模型,考虑到模型复杂性与不确定性、间隙干扰、负载扰动等原因对定位平台稳定悬浮控制问题的影响,引入自抗扰控制技术并且进行数值仿真与实现。结果表明,对悬浮方向上的控制问题引入自抗扰控制技术,不仅能实现稳定悬浮控制而且系统具有很强的鲁棒抗干扰能力。