预制体几何形状对化学液气相沉积工艺的影响

摘要

考察了预制体几何形状在高频辅助化学液气相沉积 (CLVD)工艺中的作用。相同高度、不同直径的预制体存在一个最佳直径 ,形成由内向外的致密化模式 ,由此获得的碳 /碳复合材料表观密度最大 ,开孔隙率最小。相同直径 ,不同高度的预制体中 ,随着预制体高度减小 ,其致密化模式先由中心向两端 ,而后由内向外 ,最后由外向内。h=70 mm的材料表观密度最高 。