多晶TiO_2氧敏特性及其机制的研究

摘要

研究了多晶金红石ＴｉＯ２氧敏半导体材料的氧敏特性及其机制。结果表明，表征ＴｉＯ２导电机制的特性参数ｍ并非常数，它与杂质浓度、温度、氧分压等多种因素有关。本文认为，ＴｉＯ２的主要点缺陷由不同电离状态的氧空位所构成，该模型可以解释有关的实验结果。