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两种液晶盒厚测量光电扫描方案的比较

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摘要

为提高液晶盒厚测量的准确性，对两种光电扫描测量方法进行了介绍与比较，对层厚度和折射率的不确定度进行了分析；设计了斜细光束动量扫描系统，该系统分辨率高、重复性好，已在实际生产中得到应用

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来源
《大连理工大学学报》 |1997年第s2期|P.133-135|共3页
作者
林强; 朱鹤年;
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作者单位

清华大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
液晶盒; 光电扫描; 测量;

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